Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application /

Сохранить в:

Библиографические подробности
Другие авторы:	Brand, Oliver (Редактор)
Формат:	Электронный ресурс eКнига
Язык:	английский
Опубликовано:	Weinheim, Baden-Württemberg, Germany : Wiley-VCH, 2015.
Серии:	Advanced micro & nanosystems.
Предметы:	Microelectromechanical systems > Design and construction. Microfabrication. Resonance. Electronic books.
Online-ссылка:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Метки:	Добавить метку Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!

Internet