Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application /

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Autres auteurs:	Brand, Oliver (Éditeur intellectuel)
Format:	Électronique eBook
Langue:	anglais
Publié:	Weinheim, Baden-Württemberg, Germany : Wiley-VCH, 2015.
Collection:	Advanced micro & nanosystems.
Sujets:	Microelectromechanical systems > Design and construction. Microfabrication. Resonance. Electronic books.
Accès en ligne:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Tags:	Ajouter un tag Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!

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