Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application /
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| अन्य लेखक: | |
|---|---|
| स्वरूप: | इलेक्ट्रोनिक ई-पुस्तक |
| भाषा: | अंग्रेज़ी |
| प्रकाशित: |
Weinheim, Baden-Württemberg, Germany :
Wiley-VCH,
2015.
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| श्रृंखला: | Advanced micro & nanosystems.
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| विषय: | |
| ऑनलाइन पहुंच: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
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