Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application /
Збережено в:
| Інші автори: | |
|---|---|
| Формат: | Електронний ресурс eКнига |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Weinheim, Baden-Württemberg, Germany :
Wiley-VCH,
2015.
|
| Серія: | Advanced micro & nanosystems.
|
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|