Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application /

Sparad:

Bibliografiska uppgifter
Övriga upphovsmän:	Brand, Oliver (Utgivare, redaktör, sammanställare)
Materialtyp:	Elektronisk E-bok
Språk:	engelska
Publicerad:	Weinheim, Baden-Württemberg, Germany : Wiley-VCH, 2015.
Serie:	Advanced micro & nanosystems.
Ämnen:	Microelectromechanical systems > Design and construction. Microfabrication. Resonance. Electronic books.
Länkar:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Taggar:	Lägg till en tagg Inga taggar, Lägg till första taggen!

Internet