Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application /
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| Altri autori: | |
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| Natura: | Elettronico eBook |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
Weinheim, Baden-Württemberg, Germany :
Wiley-VCH,
2015.
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| Serie: | Advanced micro & nanosystems.
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| Soggetti: | |
| Accesso online: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Tags: |
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