Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application /
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| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Weinheim, Baden-Württemberg, Germany :
Wiley-VCH,
2015.
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| Schriftenreihe: | Advanced micro & nanosystems.
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
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