Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
Guardado en:
| Autor Corporativo: | |
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| Otros Autores: | |
| Formato: | Electrónico eBook |
| Lenguaje: | inglés |
| Publicado: |
Amsterdam ; Boston :
William Andrew/Elsevier,
2010.
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| Edición: | 1st ed. |
| Colección: | Micro & nano technologies.
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Etiquetas: |
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Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
Publicado 2010.
An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Electrónico
eBook