Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
Zapisane w:
| Korporacja: | |
|---|---|
| Kolejni autorzy: | |
| Format: | Elektroniczne E-book |
| Język: | angielski |
| Wydane: |
Amsterdam ; Boston :
William Andrew/Elsevier,
2010.
|
| Wydanie: | 1st ed. |
| Seria: | Micro & nano technologies.
|
| Hasła przedmiotowe: | |
| Dostęp online: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Etykiety: |
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|
| Opis fizyczny: | xxxii, 636 p. : ill. |
|---|---|
| Bibliografia: | Includes bibliographical references and index. |