Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
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| Autor Corporativo: | |
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| Outros Autores: | |
| Formato: | Recurso Electrónico livro electrónico |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Amsterdam ; Boston :
William Andrew/Elsevier,
2010.
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| Edição: | 1st ed. |
| Colecção: | Micro & nano technologies.
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Tags: |
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