Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
Enregistré dans:
| Collectivité auteur: | |
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| Autres auteurs: | |
| Format: | Électronique e-book |
| Langue: | anglais |
| Publié: |
Amsterdam ; Boston :
William Andrew/Elsevier,
2010.
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| Édition: | 1st ed. |
| Collection: | Micro & nano technologies.
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| Sujets: | |
| Accès en ligne: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Tags: |
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