Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
-д хадгалсан:
| Байгууллагын зохиогч: | |
|---|---|
| Бусад зохиолчид: | |
| Формат: | Цахим Цахим ном |
| Хэл сонгох: | англи |
| Хэвлэсэн: |
Amsterdam ; Boston :
William Andrew/Elsevier,
2010.
|
| Хэвлэл: | 1st ed. |
| Цуврал: | Micro & nano technologies.
|
| Нөхцлүүд: | |
| Онлайн хандалт: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Шошгууд: |
Шошго байхгүй, Энэхүү баримтыг шошголох эхний хүн болох!
|
| Биет тодорхойлолт: | xxxii, 636 p. : ill. |
|---|---|
| Номзүй: | Includes bibliographical references and index. |