Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
Збережено в:
| Співавтор: | |
|---|---|
| Інші автори: | |
| Формат: | Електронний ресурс eКнига |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Amsterdam ; Boston :
William Andrew/Elsevier,
2010.
|
| Редагування: | 1st ed. |
| Серія: | Micro & nano technologies.
|
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Теги: |
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Фізичний опис: | xxxii, 636 p. : ill. |
|---|---|
| Бібліографія: | Includes bibliographical references and index. |