Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
Salvato in:
| Ente Autore: | |
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| Altri autori: | |
| Natura: | Elettronico eBook |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
Amsterdam ; Boston :
William Andrew/Elsevier,
2010.
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| Edizione: | 1st ed. |
| Serie: | Micro & nano technologies.
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| Soggetti: | |
| Accesso online: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Tags: |
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