Handbook of silicon based MEMS materials and technologies
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| 格式: | 电子 电子书 |
| 语言: | 英语 |
| 出版: |
Amsterdam ; Boston :
William Andrew/Elsevier,
2010.
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| 版: | 1st ed. |
| 丛编: | Micro & nano technologies.
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| 在线阅读: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
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