Handbook of silicon based MEMS materials and technologies

Gespeichert in:
Bibliografische Detailangaben
Körperschaft: ebrary, Inc
Weitere Verfasser: Lindroos, Veikko
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Amsterdam ; Boston : William Andrew/Elsevier, 2010.
Ausgabe:1st ed.
Schriftenreihe:Micro & nano technologies.
Schlagworte:
Online-Zugang:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
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