Lithography main techniques /

"Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and...

Mô tả đầy đủ

Chi tiết về thư mục

Tác giả của công ty:	ebrary, Inc
Tác giả khác:	Landis, Stefan
Định dạng:	Điện tử eBook
Ngôn ngữ:	Tiếng Anh
Được phát hành:	London : Hoboken, N.J. : ISTE ; Wiley, 2011.
Những chủ đề:	Microlithography. Electronic books.
Truy cập trực tuyến:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!