Lithography main techniques /
"Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and...
Збережено в:
| Співавтор: | |
|---|---|
| Інші автори: | |
| Формат: | Електронний ресурс eКнига |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
London : Hoboken, N.J. :
ISTE ; Wiley,
2011.
|
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Теги: |
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|