Lithography main techniques /

"Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologie...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Tác giả của công ty: ebrary, Inc
Tác giả khác: Landis, Stefan
Định dạng: Điện tử eBook
Ngôn ngữ:Tiếng Anh
Được phát hành: London : Hoboken, N.J. : ISTE ; Wiley, 2011.
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!