Lithography main techniques /

"Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologie...

Бүрэн тодорхойлолт

-д хадгалсан:
Номзүйн дэлгэрэнгүй
Байгууллагын зохиогч: ebrary, Inc
Бусад зохиолчид: Landis, Stefan
Формат: Цахим Цахим ном
Хэл сонгох:англи
Хэвлэсэн: London : Hoboken, N.J. : ISTE ; Wiley, 2011.
Нөхцлүүд:
Онлайн хандалт:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Шошгууд: Шошго нэмэх
Шошго байхгүй, Энэхүү баримтыг шошголох эхний хүн болох!