Lithography main techniques /

"Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and...

Πλήρης περιγραφή

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής

Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή:	ebrary, Inc
Άλλοι συγγραφείς:	Landis, Stefan
Μορφή:	Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:	Αγγλικά
Έκδοση:	London : Hoboken, N.J. : ISTE ; Wiley, 2011.
Θέματα:	Microlithography. Electronic books.
Διαθέσιμο Online:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Ετικέτες:	Προσθήκη ετικέτας Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!