Lithography main techniques /

"Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and...

Täydet tiedot

Tallennettuna:
Bibliografiset tiedot
Yhteisötekijä: ebrary, Inc
Muut tekijät: Landis, Stefan
Aineistotyyppi: Elektroninen E-kirja
Kieli:englanti
Julkaistu: London : Hoboken, N.J. : ISTE ; Wiley, 2011.
Aiheet:
Linkit:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Tagit: Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!