Lithography main techniques /

"Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and...

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ग्रंथसूची विवरण

निगमित लेखक:	ebrary, Inc
अन्य लेखक:	Landis, Stefan
स्वरूप:	इलेक्ट्रोनिक ई-पुस्तक
भाषा:	अंग्रेज़ी
प्रकाशित:	London : Hoboken, N.J. : ISTE ; Wiley, 2011.
विषय:	Microlithography. Electronic books.
ऑनलाइन पहुंच:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
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