Lithography main techniques /

"Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and...

Szczegółowa specyfikacja

Opis bibliograficzny

Korporacja:	ebrary, Inc
Kolejni autorzy:	Landis, Stefan
Format:	Elektroniczne E-book
Język:	angielski
Wydane:	London : Hoboken, N.J. : ISTE ; Wiley, 2011.
Hasła przedmiotowe:	Microlithography. Electronic books.
Dostęp online:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Etykiety:	Dodaj etykietę Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!