Lithography main techniques /

"Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and...

Szczegółowa specyfikacja

Zapisane w:
Opis bibliograficzny
Korporacja: ebrary, Inc
Kolejni autorzy: Landis, Stefan
Format: Elektroniczne E-book
Język:angielski
Wydane: London : Hoboken, N.J. : ISTE ; Wiley, 2011.
Hasła przedmiotowe:
Dostęp online:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Etykiety: Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!