Lithography main techniques /

"Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and...

תיאור מלא

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
מחבר תאגידי: ebrary, Inc
מחברים אחרים: Landis, Stefan
פורמט: אלקטרוני ספר אלקטרוני
שפה:אנגלית
יצא לאור: London : Hoboken, N.J. : ISTE ; Wiley, 2011.
נושאים:
גישה מקוונת:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
תגים: הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
תיאור
סיכום:"Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and processes, primarily used in industrial manufacturing of microprocessors and other electronic components"--
תאור פריט:Adapted and updated from Lithography published 2010 in France by Hermes Science/Lavoisier.
תיאור פיזי:xxv, 377 p. : ill. (some col.)
ביבליוגרפיה:Includes bibliographical references and index.