Lithography main techniques /

"Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: ebrary, Inc
Weitere Verfasser: Landis, Stefan
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: London : Hoboken, N.J. : ISTE ; Wiley, 2011.
Schlagworte:
Online-Zugang:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
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