Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
Salvato in:
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Elettronico eBook |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
Linkoping, Sweden :
Linkoping University,
2014.
|
| Serie: | Linkoping studies in science and technology. Dissertations ;
Number 1625. |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | Click to View |
| Tags: |
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne!!
|
Search Result 1
Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
Pubblicazione 2014.
Click to View
Elettronico
eBook