Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
Đã lưu trong:
| Tác giả chính: | |
|---|---|
| Định dạng: | Điện tử eBook |
| Ngôn ngữ: | Tiếng Anh |
| Được phát hành: |
Linkoping, Sweden :
Linkoping University,
2014.
|
| Loạt: | Linkoping studies in science and technology. Dissertations ;
Number 1625. |
| Những chủ đề: | |
| Truy cập trực tuyến: | Click to View |
| Các nhãn: |
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
Search Result 1
Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
Được phát hành 2014.
Click to View
Điện tử
eBook