Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
Kaydedildi:
Yazar: | |
---|---|
Materyal Türü: | Elektronik Ekitap |
Dil: | İngilizce |
Baskı/Yayın Bilgisi: |
Linkoping, Sweden :
Linkoping University,
2014.
|
Seri Bilgileri: | Linkoping studies in science and technology. Dissertations ;
Number 1625. |
Konular: | |
Online Erişim: | Click to View |
Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
Search Result 1
Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
Baskı/Yayın Bilgisi 2014
Click to View
Elektronik
Ekitap