Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Aineistotyyppi: | Elektroninen E-kirja |
| Kieli: | englanti |
| Julkaistu: |
Linkoping, Sweden :
Linkoping University,
2014.
|
| Sarja: | Linkoping studies in science and technology. Dissertations ;
Number 1625. |
| Aiheet: | |
| Linkit: | Click to View |
| Tagit: |
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|
Search Result 1
Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
Julkaistu 2014.
Click to View
Elektroninen
E-kirja