Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
Kaydedildi:
| Yazar: | |
|---|---|
| Materyal Türü: | Elektronik Ekitap |
| Dil: | İngilizce |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
Linkoping, Sweden :
Linkoping University,
2014.
|
| Seri Bilgileri: | Linkoping studies in science and technology. Dissertations ;
Number 1625. |
| Konular: | |
| Online Erişim: | Click to View |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
Search Result 1
Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
Baskı/Yayın Bilgisi 2014
Click to View
Elektronik
Ekitap