Yazdanfar, M. (2014). Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers. Linkoping University.
Kopioitu leikepöydälle
Kopiointi leikepöydälle epäonnistui
Chicago-viite (17. p.)
Yazdanfar, Milan. Precursors and Defect Control for Halogenated CVD of Thick SiC Epitaxial Layers. Linkoping, Sweden: Linkoping University, 2014.
Kopioitu leikepöydälle
Kopiointi leikepöydälle epäonnistui
MLA-viite (9. p.)
Yazdanfar, Milan. Precursors and Defect Control for Halogenated CVD of Thick SiC Epitaxial Layers. Linkoping University, 2014.
Kopioitu leikepöydälle
Kopiointi leikepöydälle epäonnistui
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.