Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
Salvato in:
| Autore principale: | |
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| Natura: | Elettronico eBook |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
Linkoping, Sweden :
Linkoping University,
2014.
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| Serie: | Linkoping studies in science and technology. Dissertations ;
Number 1625. |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | Click to View |
| Tags: |
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