Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
Bewaard in:
| Hoofdauteur: | |
|---|---|
| Formaat: | Elektronisch E-boek |
| Taal: | Engels |
| Gepubliceerd in: |
Linkoping, Sweden :
Linkoping University,
2014.
|
| Reeks: | Linkoping studies in science and technology. Dissertations ;
Number 1625. |
| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | Click to View |
| Tags: |
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|