Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Формат: | Електронний ресурс eКнига |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Linkoping, Sweden :
Linkoping University,
2014.
|
| Серія: | Linkoping studies in science and technology. Dissertations ;
Number 1625. |
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | Click to View |
| Теги: |
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|