Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Recurso Eletrônico livro eletrônico |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Linkoping, Sweden :
Linkoping University,
2014.
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| coleção: | Linkoping studies in science and technology. Dissertations ;
Number 1625. |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Click to View |
| Tags: |
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| Descrição Física: | 1 online resource (63 pages) : illustrations. |
|---|---|
| Bibliografia: | Includes bibliographical references. |
| ISBN: | 9789175192130 (e-book) |
| ISSN: | 0345-7524 ; |