Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
Збережено в:
| Автор: | |
|---|---|
| Формат: | Електронний ресурс eКнига |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Linkoping, Sweden :
Linkoping University,
2014.
|
| Серія: | Linkoping studies in science and technology. Dissertations ;
Number 1625. |
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | Click to View |
| Теги: |
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Фізичний опис: | 1 online resource (63 pages) : illustrations. |
|---|---|
| Бібліографія: | Includes bibliographical references. |
| ISBN: | 9789175192130 (e-book) |
| ISSN: | 0345-7524 ; |