Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Yazdanfar, Milan (Author)
פורמט: אלקטרוני ספר אלקטרוני
שפה:אנגלית
יצא לאור: Linkoping, Sweden : Linkoping University, 2014.
סדרה:Linkoping studies in science and technology. Dissertations ; Number 1625.
נושאים:
גישה מקוונת:Click to View
תגים: הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
תיאור
תיאור פיזי:1 online resource (63 pages) : illustrations.
ביבליוגרפיה:Includes bibliographical references.
ISBN:9789175192130 (e-book)
ISSN:0345-7524 ;