Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers /
Αποθηκεύτηκε σε:
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Μορφή: | Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο |
| Γλώσσα: | Αγγλικά |
| Έκδοση: |
Linkoping, Sweden :
Linkoping University,
2014.
|
| Σειρά: | Linkoping studies in science and technology. Dissertations ;
Number 1625. |
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | Click to View |
| Ετικέτες: |
Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!
|
| Φυσική περιγραφή: | 1 online resource (63 pages) : illustrations. |
|---|---|
| Βιβλιογραφία: | Includes bibliographical references. |
| ISBN: | 9789175192130 (e-book) |
| ISSN: | 0345-7524 ; |