Handbook of 3D integration. Volume 3, 3D process technology /

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書誌詳細
その他の著者:	Garrou, Philip (編集者), Koyanagi, Mitsumasa (編集者), Ramm, Peter (編集者), Allen, Ricky (寄与者)
フォーマット:	電子媒体 eBook
言語:	英語
出版事項:	Weinheim, Germany : Wiley-VCH, 2014.
主題:	Integrated circuits. Integrated circuits > Design and construction. Silicon. Three-dimensional imaging. Electronic books.
オンライン･アクセス:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
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