Computational lithography
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| Autor principal: | |
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| Autor Corporativo: | |
| Outros Autores: | |
| Formato: | Recurso Electrónico livro electrónico |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Oxford :
Wiley-Blackwell,
2010.
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| Colecção: | Wiley series in pure and applied optics.
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Tags: |
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Computational lithography
Publicado em 2010.
An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Recurso Electrónico
livro electrónico