Fundamental principles of optical lithography the science of microfabrication /
Shranjeno v:
| Glavni avtor: | |
|---|---|
| Korporativna značnica: | |
| Format: | Elektronski eKnjiga |
| Jezik: | angleščina |
| Izdano: |
Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA :
Wiley,
c2007.
|
| Teme: | |
| Online dostop: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Oznake: |
Brez oznak, prvi označite!
|
| Fizični opis: | xvii, 515 p. : ill. |
|---|---|
| Bibliografija: | Includes bibliographical references and index. |