Fundamental principles of optical lithography the science of microfabrication /

Furkejuvvon:
Bibliográfalaš dieđut
Váldodahkki: Mack, Chris A.
Searvvušdahkki: ebrary, Inc
Materiálatiipa: Elektrovnnalaš E-girji
Giella:eaŋgalasgiella
Almmustuhtton: Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA : Wiley, c2007.
Fáttát:
Liŋkkat:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Fáddágilkorat: Lasit fáddágilkoriid
Eai fáddágilkorat, Lasit vuosttaš fáddágilkora!