Fundamental principles of optical lithography the science of microfabrication /

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Detalhes bibliográficos
Autor principal:	Mack, Chris A.
Autor Corporativo:	ebrary, Inc
Formato:	Recurso Electrónico livro electrónico
Idioma:	inglês
Publicado em:	Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA : Wiley, c2007.
Assuntos:	Integrated circuits > Design and construction. Microlithography > Industrial applications. Electronic books.
Acesso em linha:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
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