Mack, C. A. (2007). Fundamental principles of optical lithography: The science of microfabrication. Wiley.
Η αντιγραφή στο πρόχειρο ολοκληρώθηκε επιτυχώς
Η αντιγραφή στο πρόχειρο απέτυχε
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)
Mack, Chris A. Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication. Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA: Wiley, 2007.
Η αντιγραφή στο πρόχειρο ολοκληρώθηκε επιτυχώς
Η αντιγραφή στο πρόχειρο απέτυχε
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)
Mack, Chris A. Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication. Wiley, 2007.
Η αντιγραφή στο πρόχειρο ολοκληρώθηκε επιτυχώς
Η αντιγραφή στο πρόχειρο απέτυχε
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.