Mack, C. A. (2007). Fundamental principles of optical lithography: The science of microfabrication. Wiley.
Kopioitu leikepöydälle
Kopiointi leikepöydälle epäonnistui
Chicago-viite (17. p.)
Mack, Chris A. Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication. Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA: Wiley, 2007.
Kopioitu leikepöydälle
Kopiointi leikepöydälle epäonnistui
MLA-viite (9. p.)
Mack, Chris A. Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication. Wiley, 2007.
Kopioitu leikepöydälle
Kopiointi leikepöydälle epäonnistui
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.