Mack, C. A. (2007). Fundamental principles of optical lithography: The science of microfabrication. Wiley.
Citace podle Chicago (17th ed.)Mack, Chris A. Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication. Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA: Wiley, 2007.
Citace podle MLA (9th ed.)Mack, Chris A. Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication. Wiley, 2007.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..