Mack, C. A. (2007). Fundamental principles of optical lithography: The science of microfabrication. Wiley.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Mack, Chris A. Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication. Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA: Wiley, 2007.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Mack, Chris A. Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication. Wiley, 2007.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.