Fundamental principles of optical lithography the science of microfabrication /
Sparad:
| Huvudupphov: | |
|---|---|
| Institutionellt upphov: | |
| Materialtyp: | Elektronisk E-bok |
| Språk: | engelska |
| Utgiven: |
Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA :
Wiley,
c2007.
|
| Ämnen: | |
| Länkar: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Taggar: |
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|
| Fysisk beskrivning: | xvii, 515 p. : ill. |
|---|---|
| Bibliografi: | Includes bibliographical references and index. |