Fundamental principles of optical lithography the science of microfabrication /
Αποθηκεύτηκε σε:
| Κύριος συγγραφέας: | |
|---|---|
| Συγγραφή απο Οργανισμό/Αρχή: | |
| Μορφή: | Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο |
| Γλώσσα: | Αγγλικά |
| Έκδοση: |
Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA :
Wiley,
c2007.
|
| Θέματα: | |
| Διαθέσιμο Online: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Ετικέτες: |
Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!
|
| Φυσική περιγραφή: | xvii, 515 p. : ill. |
|---|---|
| Βιβλιογραφία: | Includes bibliographical references and index. |