Mack, C. A. (2007). Fundamental principles of optical lithography: The science of microfabrication. Wiley.
Panoya başarıyla kopyalandı
Panoya kopyalama başarısız oldu
Chicago Style (17. basım) Atıf
Mack, Chris A. Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication. Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA: Wiley, 2007.
Panoya başarıyla kopyalandı
Panoya kopyalama başarısız oldu
MLA (9th ed.) Atıf
Mack, Chris A. Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication. Wiley, 2007.
Panoya başarıyla kopyalandı
Panoya kopyalama başarısız oldu
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..