Mack, C. A. (2007). Fundamental principles of optical lithography: The science of microfabrication. Wiley.
Успешно скопировано в буфер обмена
Ошибка копирования в буфер обмена
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)
Mack, Chris A. Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication. Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ, USA: Wiley, 2007.
Успешно скопировано в буфер обмена
Ошибка копирования в буфер обмена
Цитирование MLA (9-е изд.)
Mack, Chris A. Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication. Wiley, 2007.
Успешно скопировано в буфер обмена
Ошибка копирования в буфер обмена
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.