Plasma processing and processing science

Đã lưu trong:

Chi tiết về thư mục
Nhiều tác giả của công ty:	National Research Council (U.S.). Panel on Plasma Processing, National Research Council (U.S.). Naval Studies Board, National Research Council (U.S.). Commission on Physical Sciences, Mathematics, and Applications, ebrary, Inc
Tác giả khác:	Chen, Francis F., 1929-
Định dạng:	Điện tử eBook
Ngôn ngữ:	Tiếng Anh
Được phát hành:	Washington, D.C. : National Academy Press, 1995.
Loạt:	NRL strategic series.
Những chủ đề:	Plasma engineering. Semiconductors > Etching. Plasma etching. Electronic books.
Truy cập trực tuyến:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!

Miêu tả
Mô tả sách:	Committee chair: Francis F. Chen. This work was performed under Department of Navy Contract N00014-93-C-0089 issued by the Office of Naval Research under contract authority NR 201-124.
Mô tả vật lý:	x, 35 p.

Những quyển sách tương tự