Plasma processing and processing science

Αποθηκεύτηκε σε:

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Συλλογικό Έργο:	National Research Council (U.S.). Panel on Plasma Processing, National Research Council (U.S.). Naval Studies Board, National Research Council (U.S.). Commission on Physical Sciences, Mathematics, and Applications, ebrary, Inc
Άλλοι συγγραφείς:	Chen, Francis F., 1929-
Μορφή:	Ηλεκτρονική πηγή Ηλ. βιβλίο
Γλώσσα:	Αγγλικά
Έκδοση:	Washington, D.C. : National Academy Press, 1995.
Σειρά:	NRL strategic series.
Θέματα:	Plasma engineering. Semiconductors > Etching. Plasma etching. Electronic books.
Διαθέσιμο Online:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Ετικέτες:	Προσθήκη ετικέτας Δεν υπάρχουν, Καταχωρήστε ετικέτα πρώτοι!

Διαδίκτυο