Sputtering materials for VLSI and thin film devices /
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| Auteur principal: | |
|---|---|
| Format: | Électronique eBook |
| Langue: | anglais |
| Publié: |
Oxford ; Boston :
William Andrew Publishing,
2014.
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| Édition: | First edition. |
| Sujets: | |
| Accès en ligne: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Tags: |
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| Description matérielle: | 1 online resource (614 pages) : illustrations |
|---|---|
| Bibliographie: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 9780815519874 (ebook) |