Sputtering materials for VLSI and thin film devices /
Guardado en:
| Autor principal: | |
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| Formato: | Electrónico eBook |
| Lenguaje: | inglés |
| Publicado: |
Oxford ; Boston :
William Andrew Publishing,
2014.
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| Edición: | First edition. |
| Materias: | |
| Acceso en línea: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Etiquetas: |
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| Descripción Física: | 1 online resource (614 pages) : illustrations |
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| Bibliografía: | Includes bibliographical references and index. |
| ISBN: | 9780815519874 (ebook) |