Low-k nanoporous interdielectrics materials, thin film fabrications, structures and properties /
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| Autore principale: | |
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| Ente Autore: | |
| Altri autori: | , |
| Natura: | Elettronico eBook |
| Lingua: | inglese |
| Pubblicazione: |
Hauppauge, N.Y. :
Nova Science Publishers,
c2010.
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| Serie: | Nanotechnology science and technology series.
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| Soggetti: | |
| Accesso online: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Tags: |
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