Low-k nanoporous interdielectrics materials, thin film fabrications, structures and properties /

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Détails bibliographiques
Auteur principal:	Ree, Moonhor
Collectivité auteur:	ebrary, Inc
Autres auteurs:	Yoon, Jinhwan, Heo, Kyuyoung
Format:	Électronique eBook
Langue:	anglais
Publié:	Hauppauge, N.Y. : Nova Science Publishers, c2010.
Collection:	Nanotechnology science and technology series.
Sujets:	Dielectric films. Microelectronics > Materials. Porous materials. Interconnects (Integrated circuit technology) Electronic books.
Accès en ligne:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Tags:	Ajouter un tag Pas de tags, Soyez le premier à ajouter un tag!

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