Low-k nanoporous interdielectrics materials, thin film fabrications, structures and properties /
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| 1. Verfasser: | |
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| Körperschaft: | |
| Weitere Verfasser: | , |
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Hauppauge, N.Y. :
Nova Science Publishers,
c2010.
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| Schriftenreihe: | Nanotechnology science and technology series.
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Tags: |
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| Beschreibung: | 67 p. : ill. |
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| Bibliographie: | Includes bibliographical references (p. [51]-61) and index. |