Lithography principles, processes and materials /

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: ebrary, Inc
Weitere Verfasser: Hennessy, Theodore C.
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: New York : Nova Science, c2011.
Schriftenreihe:Engineering tools, techniques and tables.
Nanotechnology science and technology series.
Schlagworte:
Online-Zugang:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
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Beschreibung
Beschreibung:xii, 284 p. : ill. (some col.).
Bibliographie:Includes bibliographical references and index.