Lithography principles, processes and materials /
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
New York :
Nova Science,
c2011.
|
| Schriftenreihe: | Engineering tools, techniques and tables.
Nanotechnology science and technology series. |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Beschreibung: | xii, 284 p. : ill. (some col.). |
|---|---|
| Bibliographie: | Includes bibliographical references and index. |