Computational lithography
Tallennettuna:
| Päätekijä: | |
|---|---|
| Yhteisötekijä: | |
| Muut tekijät: | |
| Aineistotyyppi: | Elektroninen E-kirja |
| Kieli: | englanti |
| Julkaistu: |
Oxford :
Wiley-Blackwell,
2010.
|
| Sarja: | Wiley series in pure and applied optics.
|
| Aiheet: | |
| Linkit: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Tagit: |
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|
| Ulkoasu: | xv, 226 p. : ill. |
|---|---|
| Bibliografia: | Includes bibliographical references and index. |