Handbook of 3D integration. Volume 3, 3D process technology /

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Détails bibliographiques
Autres auteurs:	Garrou, Philip (Éditeur intellectuel), Koyanagi, Mitsumasa (Éditeur intellectuel), Ramm, Peter (Éditeur intellectuel), Allen, Ricky (Collaborateur)
Format:	Électronique eBook
Langue:	anglais
Publié:	Weinheim, Germany : Wiley-VCH, 2014.
Sujets:	Integrated circuits. Integrated circuits > Design and construction. Silicon. Three-dimensional imaging. Electronic books.
Accès en ligne:	An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
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Description
Description matérielle:	1 online resource (475 pages) : illustrations (some color)
Bibliographie:	Includes bibliographical references at the end of each chapters and index.
ISBN:	9783527670130 (e-book) 9783527670123 (e-book) 9783527670116 (e-book) 9783527670109 (e-book)

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