Digital holography for MEMS and microsystem metrology

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Détails bibliographiques
Collectivité auteur: ebrary, Inc
Autres auteurs: Asundi, Anand
Format: Électronique eBook
Langue:anglais
Publié: Chichester, West Sussex, U.K. ; Hoboken, N.J. : Wiley, 2011.
Collection:Wiley microsystem and nanotechnology series.
Sujets:
Accès en ligne:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
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