Digital holography for MEMS and microsystem metrology
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| Autor Corporativo: | |
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| Outros Autores: | |
| Formato: | Recurso Electrónico livro electrónico |
| Idioma: | inglês |
| Publicado em: |
Chichester, West Sussex, U.K. ; Hoboken, N.J. :
Wiley,
2011.
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| Colecção: | Wiley microsystem and nanotechnology series.
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Tags: |
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