An introduction to microelectromechanical systems engineering

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Автор: Maluf, Nadim
Співавтор: ebrary, Inc
Інші автори: Williams, Kirt
Формат: Електронний ресурс eКнига
Мова:Англійська
Опубліковано: Boston : Artech House, 2004.
Редагування:2nd ed.
Серія:Microelectromechanical systems series.
Предмети:
Онлайн доступ:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Опис
Фізичний опис:xx, 282 p. : ill.
Бібліографія:Includes bibliographical references and index.