Buchumschlag
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Microelectromechanical systems advanced materials and fabrication methods /

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Körperschaften: National Research Council (U.S.). Committee on Advanced Materials and Fabrication Methods for Microelectromechanical Systems, ebrary, Inc
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Washington, DC : National Academy Press, 1997.
Schlagworte:
Microelectronics > Materials.
Microelectromechanical systems > Design and construction.
Electronic books.
Online-Zugang:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
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Microelectromechanical systems advanced materials and fabrication methods /

Veröffentlicht 1997.
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