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Microelectromechanical systems advanced materials and fabrication methods /

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Autores Corporativos: National Research Council (U.S.). Committee on Advanced Materials and Fabrication Methods for Microelectromechanical Systems, ebrary, Inc
Formato: Electrónico eBook
Lenguaje:inglés
Publicado: Washington, DC : National Academy Press, 1997.
Materias:
Microelectronics > Materials.
Microelectromechanical systems > Design and construction.
Electronic books.
Acceso en línea:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
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Descripción Física:xiv, 61 p. : ill.
Bibliografía:Includes bibliographical references (p. 51-55).

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