Atomic layer deposition principles, characteristics, and nanotechnology applications /
Guardado en:
| Autor principal: | |
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| Autor Corporativo: | |
| Formato: | Electrónico eBook |
| Lenguaje: | inglés |
| Publicado: |
Hoboken, NJ :
John Wiley & Sons,
c2013.
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| Edición: | 2nd ed. |
| Materias: | |
| Acceso en línea: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
| Etiquetas: |
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| Descripción Física: | xv, 253 p. : ill. |
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| Bibliografía: | Includes bibliographical references and index. |