Micro electro mechanical systems (MEMS) technology, fabrication processes and applications /
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | , |
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
Hauppauge, N.Y. :
Nova Science Publishers,
c2010.
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| Schriftenreihe: | Nanotechnology science and technology series.
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view |
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Micro electro mechanical systems (MEMS) technology, fabrication processes and applications /
Veröffentlicht c2010.
An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
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