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Glancing angle deposition of thin films : engineering the nanoscale /

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Hauptverfasser: Hawkeye, Matthew M. (Verfasst von), Taschuk, Michael T. (Verfasst von), Brett, Michael J. (Verfasst von)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:Englisch
Veröffentlicht: Chichester, England : Wiley, 2014.
Schriftenreihe:Wiley series in materials for electronic and optoelectronic applications.
Schlagworte:
Nanotechnology.
Chemical vapor deposition.
Nanoelectromechanical systems > Design and construction.
Electronic books.
Online-Zugang:An electronic book accessible through the World Wide Web; click to view
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Beschreibung:1 online resource (316 pages) : illustrations (some color).
Bibliographie:Includes bibliographical references at the end of each chapters and index.
ISBN:9781118847329 (e-book)

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